Bronkhorst氣體質量流量計FG-110C用于質譜

Bronkhorst氣體質量流量計FG-110C用于質譜

氣體流量測控

Bronkhorst氣體質量流量計和控制器，精度高、重復性好、響應快速。

熱式原理 和 科里奧利原理，種類齊全，可選量程寬。可為實驗室、設備、工業和危險區域的應用提供多種標準和定

制儀器。

量程范圍 從 0.014 mln/min 到 11000 m3n/h (等量N2)。小流量科里奧利質量流量計和流量控制器不受流體特性影響，

既可用于氣體，也可以用于液體。

EL-FLOW PRESTIGE

EL-FLOW Prestige 作為Bronkhorst新一代熱式氣體質量流量計/控制器，在通用性和用戶操作方便性方面具有

突破性的變革與創新。

創新的信號處理技術

穩定的流量控制，受過程波動的影響低

創新型控制閥設計

一個產品即可預置多種氣體曲線并根據需要設定量程范圍

顯著降低能耗

可實現多種通訊方式及客戶定制的I/O功能

最小流量: 0.014…0.7 ml/min

最大流量: 2…100 l/min

特點

高精度 (standard 0.5% Rd plus 0.1% FS)

量程比高達1：150

迅速的動態響應

多氣體/多量程功能（可選100種氣體;量程可在40％-120％進行拓展，也可直接訂制量程范圍（FS值）

耐壓能力10/64/100bar

模擬I/O信號，RS232連接;可選現場總線通訊

多種可選的用戶自定義I/O配置

用戶可編程的控制特性

堅固的金屬外殼

安全性 IEC 61010-1

應用領域

大學及研發機構，研發設備

分析/環保設備

食品、化工、石化等行業的氣體流量監控

氣體計量系統中的氣體消耗監測

氣體泄漏檢測系統

半導體制造業

表面處理設備

測量/控制系統

精度(包括線性) ±0.5% 

重復性 < ± 0.04% 

量程比 1:150;

設定時間（控制） < 500 ms

運行溫度 -10…70°C

溫度敏感性< 0.02%

壓力敏感性  < 0.15% 

集成壓力傳感器精度 (PI選項) ± 0.25% 

泄漏率  < 2 x 10-9 mbar l/s 

預熱時間 30 min. 

電源 +15…24 Vdc

量程范圍 0.014…0.7 ml/min -0.18…9 ml/min

壓力等級 100 bar

Bronkhorst氣體質量流量計FG-110C用于質譜