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SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥

SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥,POLOS 200 高級單基板旋轉(zhuǎn)處理器,臺面模型桌面版,自動化學品分配,重型電機。

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  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-01-17
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詳細介紹


SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥


POLOS 200 高級單基板旋轉(zhuǎn)處理器,臺面模型桌面版,自動化學品分配,重型電機。它支持多種流體,

這要歸功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外殼。電機模式旋轉(zhuǎn)的控制,

結合POLOS Advanced系統(tǒng)中多達6個自動點膠機,可實現(xiàn)多層薄膜的均勻沉積和光刻膠顯影。

這些功能通過全自動配方和高可重復性實現(xiàn)快速工藝優(yōu)化。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝


特性

自動化學品分配

重型電機

支持多種流體

多達 6 個自動分配器

POLOS 200.png


特點

高達 260 mm 的圓形或 6“ x 6" 方形基板

材料:天然聚丙烯(高級NPP,工具體和所有接液表面)或PTFE

帶注射器支架的透明蓋,用于集中點膠

CW 和 CCW 水坑旋轉(zhuǎn)

(可拆卸)帶有可定制圖標的彩色觸摸屏

手套友好,IP52,耐化學腐蝕

無限程序存儲,用于每個步驟的食譜

USB端口

標準 1“ 排水連接

與我們的藍寶石MegPie兆聲波換能器兼容

我們還為該系列提供可選的背面沖洗蓋和氣動蓋、真空泵、分散容器和噴射噴射器!


包括

3 個可編程干式繼電器,標稱開關容量 0.5A / 125 VAC - 0.3A / 60DC

1 件式真空吸盤 A-V36-S45-NPP,適用于直徑達 ? 150mm 的基板和 1 件式碎片適配器 D-V10-S50-NPP


型號

POLOS 200

POLOS 300

POLOS 450

POLOS SPIN150i

POLOS SPIN200i



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