Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC

1、 Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC概述

LEYSPEC 殘余氣體分析儀 （RGA） 產品系列可實現簡單直觀的操作。

只需按一下按鈕，您就可以顯示關鍵氣體的分壓，如果您的工藝涉及額外的氣體，您可以將其分配給備用顯示通道。

由于可實現的高烘烤溫度，LEYSPEC 非常適合用于要求苛刻的高真空和超高真空應用。

2、加工原則

測量池是熱陰極電離真空計。電子從熱絲發射，并通過電偏置加速到源頭。快速移動的電子與氣體分子碰撞，使電子移位，從而使它們電離。正氣體離子將其電流提供給負負載的離子收集器。離子電流與壓力成正比。離子越多，離子電流越高。四極桿陣列由四根不銹鋼棒組成。直流和高頻電壓施加到所有桿上。這會產生復雜的磁場。通過改變電壓，磁場得到控制。

由此產生的振動僅允許特定質量的離子“飛過"它并到達檢測部分：

具有適當質荷比（m / e）的離子將以穩定的三維軌跡通過兩極振蕩。

不正確的m/e離子將失控振蕩并與兩極碰撞

離子到達離子收集器并提供輸出電流，該電流是通過過濾器的離子相對豐度的量度。然后，離子電流或分壓相對于m/z比顯示在裝置或軟件中。

移動式殘余分析儀系統

Leybold 殘余氣體分析儀LEYSPEC推車帶有集成的差動泵系統，具有最大的靈活性和易于操作。

它是一個獨立的泵送系統，可輕松適應各種測量任務，在各種壓力下具有快速的運行準備和可操作性。

我們的解決方案：

配備 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i 的獨立泵送系統 

集成過程控制，操作快速簡便

簡單直觀的萊特格 RGA 軟件

集成在可獨立移動的推車中

特高壓針閥，可在不同壓力水平直至大氣壓下靈活運行

緊湊且簡單

所有產品均配有集成顯示屏，操作簡單快捷，LEYSPEC軟件則用于復雜的測試程序和殘余氣體分析。LEYSPEC產品系列尺寸緊湊，可安裝在任何方向，非常適合不同的內置情況。

由于界面直觀，LEYSPEC殘余氣體分析儀非常易于操作。只需按一下按鈕，您就可以顯示關鍵氣體的分壓，如果您的工藝涉及額外的氣體，您可以將其分配給備用顯示通道

直觀的軟件

智能直觀的萊特軟件完善了產品。用戶友好的界面允許廣泛的用例，從簡單的操作到復雜的分析。創建食譜非常簡單：快速方便。

在操作過程中，將顯示總壓力，并可以選擇不同的視圖來適應視圖以進行分析。在掃描模式、趨勢模式或模擬模式之間進行選擇

高級功能

預安裝的軟件功能允許許多附加功能和測試程序，例如氦氣泄漏測試或為可選氣體設置警告和錯誤級別。實現了可編程脫氣功能，用于啟動或暴露在大氣中的簡單工藝脫氣。背景抑制允許聚焦在重要的峰值上。